嘉興GMP純水設(shè)備解讀;半導(dǎo)體研磨廢水的處理方法及分類
2022/11/16 15:34:04 點(diǎn)擊：
【上海水處理設(shè)備網(wǎng)www.ptmcorporation.cn】近年來，隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步和人民需求的不斷增加，我國半導(dǎo)體消費(fèi)行業(yè)發(fā)展迅速，然而也有少量半導(dǎo)體廢水排放。那么下面就來說說半導(dǎo)體研磨廢水的處理方法。 在集成電路封裝的制造過程中，會對晶圓進(jìn)行切割和研磨，并用超純水清洗，因此會產(chǎn)生少量的切割和研磨廢水。目前國內(nèi)很多廠家采用混凝沉淀和濾袋過濾的方法，嘉興GMP純水設(shè)備出水達(dá)到污水綜合處理排放標(biāo)準(zhǔn)。 一種半導(dǎo)體研磨廢水的處理方法及純水設(shè)備，其特征在于，包括以下步驟: (1)通過廢水收集箱收集硅片研磨產(chǎn)生的廢水； (2)用水泵將廢水泵入多介質(zhì)過濾器進(jìn)行初步過濾； (3)將一次過濾后的水送入保安過濾器進(jìn)行二次過濾，保安過濾器用于屏蔽超濾膜； (4)將第二次過濾后的水送入超濾膜過濾裝置進(jìn)行第三次過濾； (SDI計(jì)或濁度計(jì)用于測量和確定第三次過濾的水是否能滿足第一次設(shè)定的規(guī)格要求，如果滿足規(guī)格要求，則送至生產(chǎn)水箱；
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